AC300 Лабораторная вакуумная установка для нанесения тонких пленок и фоторезиста до 300 мм предназначена для нанесения и проявления фоторезиста методом центрифугирования, подходит для подложек диаметром до 300 мм. Установка является экономичным решением для лабораторного применения.
AC300 – настольная система проявления фоторезиста, которая имеет компактный размер и может быть установлена в различные лаборатории и другие учреждения, где требуется миниатюрные инструменты для работы с фоторезистом.
Смотреть похожее оборудование …
Спин-коатер (центрифуга для нанесения пленок)
AC300 Лабораторная вакуумная установка для нанесения тонких пленок и фоторезиста до 300 мм
Наличие:
Доступно для предзаказа
Особенности
- Максимум для покрытия пластины толщиной 12 дюймов или 300 мм.
- Материал: алюминиевый корпус анодного окисления,
- С тремя алюминиевыми вакуумными патронами: наружный диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм.
- 4,7-дюймовая ЖК-панель на английском языке
- Безмасляный вакуумный насос с низким уровнем шума.
- Серводвигатель, большая стабильность
Доступно для предзаказа
Модель | AC300 Лабораторная вакуумная установка для нанесения тонких пленок и фоторезиста до 300 мм |
---|---|
Максимальный образец пластины | 12 дюймов (300 мм) |
Материал камеры | ПНД |
Вакуумный патрон | 3 шт. стандартный вакуумный патрон Размер: наружный размер 8 мм, 15 мм, 55 мм для немедленного использования. Возможен заказной вакуумный патрон |
Скорость центрифуги | 100~5000 об/мин |
Диапазон регулировки ускорения | 0~10000об/мин/с |
Максимальное время нанесения покрытия на каждом этапе | 1-3000 сек (шаг — 1 сек) |
Мощность серводвигателя | 200 Вт |
Контроль вращения | Программируемое управление, 100 программируемых с каждыми 100 шагами, можно восстановить |
Разрешение вращения | 1 об/мин |
Источник питания | 230В, регулируемый |
Габаритные размеры (ДxШxВ) | 613x463x306 мм |
Вес Нетто/Брутто | Кг |