Настольная установка для нанесения покрытий магнетронным распылением на vbobylev.ru
Настольная установка для нанесения покрытий магнетронным распылением на vbobylev.ru
Настольная установка для нанесения покрытий магнетронным распылением на vbobylev.ru

Настольная установка для нанесения покрытий магнетронным распылением

Наличие:

Доступно для предзаказа

Особенности

  • Настольная  установка для магнетронного  напыления с одной целью – это высокопроизводительное оборудование для магнетронного напыления, независимо разработанное нашей компанией, которое обладает характеристиками миниатюризации и стандартизации.
  • Мишень магнетрона может быть выбрана из 1 дюйма или 2 дюймов, и клиенты могут выбирать в зависимости от размера подложки, на которую будет нанесено покрытие;
  • Источник питания представляет собой источник постоянного тока мощностью 150 Вт, который можно использовать для напыления металла.
  • Устройство для нанесения покрытий оснащено вентиляционным отверстием, которое можно заполнить защитным газом. Если заказчику необходимо смешать газ, вы можете связаться с персоналом для настройки высокоточного массового расходомера в соответствии с потребностями эксперимента.
  • Прибор оснащен усовершенствованным турбомолекулярным насосом, предельный вакуум может достигать 1,0E-5Па. Также можно приобрести другие типы молекулярных насосов.

Доступно для предзаказа

Настольная  установка для магнетронного  напыления с одной целью – это высокопроизводительное оборудование для магнетронного напыления, независимо разработанное нашей компанией, которое обладает характеристиками миниатюризации и стандартизации. Мишень магнетрона может быть выбрана из 1 дюйма или 2 дюймов, и клиенты могут выбирать в зависимости от размера подложки, на которую будет нанесено покрытие; Источник питания представляет собой источник постоянного тока мощностью 150 Вт, который можно использовать для напыления металла. Устройство для нанесения покрытий оснащено вентиляционным отверстием, которое можно заполнить защитным газом. Если заказчику необходимо смешать газ, вы можете связаться с персоналом для настройки высокоточного массового расходомера в соответствии с потребностями эксперимента. Прибор оснащен усовершенствованным турбомолекулярным насосом, предельный вакуум может достигать 1,0E-5Па. Также можно приобрести другие типы молекулярных насосов.

Область применения настольного одноцелевого магнетронного распылителя:

  • Оборудование можно использовать для изготовления однослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т. д.
  • По сравнению с аналогичным оборудованием, этот прибор для одномишеневого магнетронного напыления имеет компактную конструкцию, высокую степень интеграции, компактность и может быть размещен на стол для использования. Это идеальное оборудование для подготовки пленок материалов в лаборатории.
Категория: Метка:
Модель Настольная установка для нанесения покрытий магнетронным распылением
Таблица образцов возвратно-поступательного движения Размер 50×100 мм
Скорость возвратно-поступательного движения 0~50 мм/с
Магнетронная мишенная пушка Головная плоскость цели Круглая плоская мишень
Напыление вакуумное 10 Па ~ 0,2 Па
Диаметр цели 2 дюйма
Целевая толщина Рекомендуется 2~5 мм
Целевая температура головки ≦ 65 ℃
Вакуумная камера Размер камеры Φ180 мм x В 215 мм
Материал камеры Кварц высокой чистоты
Окно наблюдения Всенаправленная прозрачность
Способ открытия Съемная верхняя крышка
Источник питания источник постоянного тока 150 Вт макс.
Количество 1
Молекулярная насосная система Форвакуумный насос Роторно-лопастной насос VRD-4
Скорость откачки 1,1 л/с
Предельный вакуум 5*10 -1 Па
Молекулярный насос Молекулярная скорость откачки 600л/с
Номинальная скорость 24000 об/мин
Предельный вакуум 5*10 -5 Па
Значение вибрации ≦ 0,1 мкм
Время начала ≦ 4,5 мин.
Время простоя <7 минут
метод охлаждения Водяное охлаждение + воздушное охлаждение
Охладитель воды Температура охлаждающей воды ≦ 37 ℃
Расход охлаждающей воды 10л/мин
Напряжение питания 220 В переменного тока, 50 Гц

Похожие товары