CY-EVP170S-1S-A Настольная установка для нанесения термического испарения

Наличие:

Доступно для предзаказа


Особенности

  • Настольная установка для нанесения покрытия методом термического испарения с полостью из нержавеющей стали представляет собой небольшую настольную установку для нанесения покрытия методом термического испарения, специально разработанную для высокого вакуума.
  • CY-EVP170S-1S-A может обеспечивать максимальный ток нанесения покрытия 100 А, максимальную температуру испарения до 1800 ℃ и может выдерживать испарение различных распространенных материалов. металл и часть неметалла.
  • Вакуумная камера изготовлена ​​из нержавеющей стали и перед поставкой дегазирована. CY-EVP170S-1S-A может достигать предельного вакуума 5×10-5Па с помощью группы молекулярных насосов, что соответствует вакууму, необходимому для испарения большинства материалов.
  • Вакуумная камера открывается путем поднятия крышки для облегчения подъема.
  • Камера оборудована адаптивным смотровым окном с перегородкой для наблюдения за процессом нанесения покрытия. Перегородка может эффективно предотвратить загрязнение смотрового окна пленочным материалом.

Доступно для предзаказа

Компактная вакуумная установка для нанесения покрытий с испарением углерода и металла  CY-EVP170S-1S-A – это компактная установка для нанесения покрытий с испарением, которая подходит для нанесения покрытия на легкий металл,  Al. Mg и Li.

Модель продукта CY-EVP170S-1S-A Настольная установка для нанесения термического испарения
Условия установки 1. Температура рабочей среды: 25℃±15℃, влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной влажности;
2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока,50 Гц, должен быть хорошо заземлен;
3. Номинальная мощность:1200 Вт;
4. Газовоеоборудование: Для очистки камера оборудования должна быть заполнена аргоном. Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%.
5. Требования к размеру стола: 600×600×700 мм , несущая способность ≥ 50 кг.
6. Помещение должно хорошо вентилироваться и охлаждаться.
Технические индикаторы 1. Напряжение источника испарения: 10 В.
2. Ток испарения плавно регулируется от 0 до 100 А.
3. С вольфрамовой лодочкой и вольфрамовой корзиной;
4. Стол для образцов из нержавеющей стали, диаметр 60 мм;
5. Расстояние между платформой для проб и источником испарения регулируется от 60 до 100 мм;
6. Вакуумная полость представляет собой полость из нержавеющей стали с внешним диаметром 170 мм, внутренним диаметром 160 мм и высотой 210 мм;
7. Он оснащен кварцевым смотровым окном с перегородкой, размер φ60 мм.
8. Интерфейс накачки воздуха вакуумной камеры – KF40;
9. Интерфейс воздухозаборника представляет собой двойное уплотнительное соединение диаметром 1/4 дюйма;
10. Сенсорный экран представляет собой 7-дюймовый цветной сенсорный экран;
11. Регулируемый ток распыления, можно установить значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума;
12.  Защитная защита: перегрузка по току, слишком низкий вакуум автоматически отключают ток распыления;
13. Максимальный вакуум:1 Па (соответствует двухступенчатому пластинчато-роторному насосу);
14. Измерение вакуума осуществляется вакуумметром Parana,диапазон: 1~105 Па.
Уведомление 1. Чтобы в полной мере реализовать вакуумные характеристики полости, рекомендуется использовать ее с группой молекулярного насоса.
Дополнительные аксессуары
Монитор толщины пленки 1. Разрешение толщины пленки:0,0136Å(алюминий).
2. Точность толщины пленки:±0,5%,зависит от условий процесса, особенно от положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности.
3. Скорость измерения: от 100 мс до 1 с за раз. Диапазон измерения можно установить: 500 000 Å(алюминий).
4. Стандартный сенсорный кристалл:6 МГц.
5. Подходит для частоты пластины:6 МГц. подходит для размера пластины:Φ14 мм монтажный фланец:CF35
Дополнительные аксессуары 1. Вольфрамовая лодочка, вольфрамовая корзина;
2. Источник органического испарения (включая кварцевую лодочку и источник нагрева из вольфрамовой проволоки)
3. Высокопроизводительный молекулярный насос серии CY-CZK103 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5 Па ~ 105 Па);
Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) Биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос ВРД-4.
4. Вакуумные сильфоны KF40; Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40;
5. Кварцевый генератор для измерения толщины пленки;