Компактная вакуумная установка для нанесения покрытий с испарением углерода и металла CY-EVP170S-1S-A – это компактная установка для нанесения покрытий с испарением, которая подходит для нанесения покрытия на легкий металл, Al. Mg и Li.
Лабораторная установка для нанесения покрытий
CY-EVP170S-1S-A Настольная установка для нанесения термического испарения
Наличие:
Доступно для предзаказа
Особенности
- Настольная установка для нанесения покрытия методом термического испарения с полостью из нержавеющей стали представляет собой небольшую настольную установку для нанесения покрытия методом термического испарения, специально разработанную для высокого вакуума.
- CY-EVP170S-1S-A может обеспечивать максимальный ток нанесения покрытия 100 А, максимальную температуру испарения до 1800 ℃ и может выдерживать испарение различных распространенных материалов. металл и часть неметалла.
- Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали и перед поставкой дегазирована. CY-EVP170S-1S-A может достигать предельного вакуума 5×10-5Па с помощью группы молекулярных насосов, что соответствует вакууму, необходимому для испарения большинства материалов.
- Вакуумная камера открывается путем поднятия крышки для облегчения подъема.
- Камера оборудована адаптивным смотровым окном с перегородкой для наблюдения за процессом нанесения покрытия. Перегородка может эффективно предотвратить загрязнение смотрового окна пленочным материалом.
Доступно для предзаказа
Модель продукта | CY-EVP170S-1S-A Настольная установка для нанесения термического испарения |
---|---|
Условия установки | 1. Температура рабочей среды: 25℃±15℃, влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной влажности; 2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока,50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3. Номинальная мощность:1200 Вт; 4. Газовоеоборудование: Для очистки камера оборудования должна быть заполнена аргоном. Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%. 5. Требования к размеру стола: 600×600×700 мм , несущая способность ≥ 50 кг. 6. Помещение должно хорошо вентилироваться и охлаждаться. |
Технические индикаторы | 1. Напряжение источника испарения: 10 В. 2. Ток испарения плавно регулируется от 0 до 100 А. 3. С вольфрамовой лодочкой и вольфрамовой корзиной; 4. Стол для образцов из нержавеющей стали, диаметр 60 мм; 5. Расстояние между платформой для проб и источником испарения регулируется от 60 до 100 мм; 6. Вакуумная полость представляет собой полость из нержавеющей стали с внешним диаметром 170 мм, внутренним диаметром 160 мм и высотой 210 мм; 7. Он оснащен кварцевым смотровым окном с перегородкой, размер φ60 мм. 8. Интерфейс накачки воздуха вакуумной камеры – KF40; 9. Интерфейс воздухозаборника представляет собой двойное уплотнительное соединение диаметром 1/4 дюйма; 10. Сенсорный экран представляет собой 7-дюймовый цветной сенсорный экран; 11. Регулируемый ток распыления, можно установить значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума; 12. Защитная защита: перегрузка по току, слишком низкий вакуум автоматически отключают ток распыления; 13. Максимальный вакуум:1 Па (соответствует двухступенчатому пластинчато-роторному насосу); 14. Измерение вакуума осуществляется вакуумметром Parana,диапазон: 1~105 Па. |
Уведомление | 1. Чтобы в полной мере реализовать вакуумные характеристики полости, рекомендуется использовать ее с группой молекулярного насоса. |
Дополнительные аксессуары | |
Монитор толщины пленки | 1. Разрешение толщины пленки:0,0136Å(алюминий). 2. Точность толщины пленки:±0,5%,зависит от условий процесса, особенно от положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности. 3. Скорость измерения: от 100 мс до 1 с за раз. Диапазон измерения можно установить: 500 000 Å(алюминий). 4. Стандартный сенсорный кристалл:6 МГц. 5. Подходит для частоты пластины:6 МГц. подходит для размера пластины:Φ14 мм монтажный фланец:CF35 |
Дополнительные аксессуары | 1. Вольфрамовая лодочка, вольфрамовая корзина; 2. Источник органического испарения (включая кварцевую лодочку и источник нагрева из вольфрамовой проволоки) 3. Высокопроизводительный молекулярный насос серии CY-CZK103 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5 Па ~ 105 Па); Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) Биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос ВРД-4. 4. Вакуумные сильфоны KF40; Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40; 5. Кварцевый генератор для измерения толщины пленки; |