CY-HP200 8-дюймовая машина для запекания клея для пластин в процессе фотолитографии
CY-HP200 8-дюймовая машина для запекания клея для пластин в процессе фотолитографии
CY-HP200 8-дюймовая машина для запекания клея для пластин в процессе фотолитографии

CY-HP200 8-дюймовая машина для запекания клея для пластин в процессе фотолитографии

Наличие:

Доступно для предзаказа

Особенности:

  • 8-дюймовая машина для запекания клея для пластин в основном используется в процессе фотолитографии в производстве полупроводников.
  • Размер нагревательной панели 340×340 мм квадрат
  • Равномерный нагрев: обеспечение равномерной температуры на поверхности пластины.
  • Точный контроль температуры: высокая точность контроля температуры для соответствия различным требованиям процесса.
  • Эффективное производство: поддержка одновременной обработки нескольких пластин для повышения эффективности.
  • Удаление растворителя: испаряет растворитель в фоторезисте путем нагрева для улучшения адгезии.
  • Улучшение стабильности: отверждение фоторезиста и улучшение его стабильности в последующих процессах.
  • Оптимизация переноса рисунка: обеспечение равномерной выдержки фоторезиста и повышение точности переноса рисунка.
  • Повышение коррозионной стойкости фоторезиста при травлении и ионной имплантации.

Доступно для предзаказа

8-дюймовая машина для запекания клея для пластин в основном используется в процессе фотолитографии в производстве полупроводников. В процессе фотолитографии полупроводников и смежных областях 8-дюймовая машина для выпекания пластин в основном используется для выпекания и отверждения фоторезиста для обеспечения точности переноса рисунка и стабильности процесса.

Области применения:

  • Производство полупроводников: используется для запекания фоторезиста для обеспечения точности переноса рисунка.
  • Микроэлектромеханическая система (МЭМС): используется для отверждения фоторезиста в производстве устройств МЭМС.
  • Оптоэлектронные устройства: используется для обработки фоторезиста при производстве лазеров, детекторов и других устройств.
  • Плоский дисплей: используется для запекания фоторезиста при производстве жидкокристаллических и OLED-дисплеев.
Категория:
Модель CY-HP200 8-дюймовая машина для запекания клея для пластин в процессе фотолитографии
Размер нагревательной панели 340×340 мм квадрат
Потребляемая мощность 220 В переменного тока, 3400 Вт
Диапазон регулирования температуры Комнатная температура -300°c
Температурное разрешение 0,1℃
Контроль температуры точность ±0.2°c
Равномерность температуры 2%
Регулировка высоты электрического эжектора 0-30 мм
Разрешение высоты эжектора 0.1 мм
Вакуумный интерфейс Внешний диаметр задней пластины оборудования 6 мм
Требования к вакуумному входу 0.04~0.09 mPa
Система управления Управление сенсорным экраном, усовершенствованный ПЛК управление
Габаритные размеры (ДxШxВ) 388x366x250мм
Вес Нетто/Брутто 10/15 кг

Похожие товары