CY-SP4 (EZ4) спин-коутер с размером подложки диаметр 100 мм

Наличие:

Доступно для предзаказа


Особенности

  • Максимум для покрытия пластины шириной 100 мм.
  • Материал: алюминиевый корпус анодного окисления,
  • С тремя алюминиевыми вакуумными патронами: наружный диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм.
  • ЖК-панель на английском языке
  • Безмасляный вакуумный насос с низким уровнем шума

Доступно для предзаказа

Лабораторная установка CY-SP4 (EZ4) предназначена для нанесения и проявления фоторезиста методом центрифугирования, подходит для подложек диаметром до 100 мм или с размерами до 75х75 мм.

Комплектация:

  • Центрифуга CY-SP4 (EZ4) – 1 шт.
  • Вакуумный насос – 1 шт.
  • Кабель питания – 1 шт.
  • Инструкция по эксплуатации — 1 шт.
  • Набор держателей – 1 комплект.
Модель CY-SP4 (EZ4) спин-коутер с размером подложки диаметр 100 мм
Максимальный размер подложки Диаметр. 4″ (~100 мм)
Материал камеры и верхней крышки ПММА Внутренняя полость из полипропилена, устойчивая к коррозии, сменная
Вакуумная присоска из ПЭВП
Скорость вращения 0~9999 об/мин регулируемая
Регулируемое ускорение 100~5000 об/мин/с
Разрешение скорости 1 об/мин
Режим работы Кнопка + ЖК-экран
Метод нанесение клея Ручной
Кривая вращения Каждая кривая имеет 5 сегментов, всего можно сохранить 5 кривых
Вакуумный патрон 3 части (алюминиевый сплав, диаметр 10 мм, 25 мм и 55 мм)
Вакуумный насос В комплекте один безмасляный насос
Скорость откачки 50 л/мин
Интерфейс откачки Быстрый винт Φ6 интерфейс
Входное напряжение 220 В переменного тока, 50 Гц
Габаритные размеры (ДxШxВ) 210х265х215 мм
Размеры упаковки (ДxШxВ) 420x340x295 мм
Вес Нетто/Брутто 10/15 Кг