Модель | CY-MSP180SRF-RPM Вращающаяся установка магнетронного распыления порошка |
Характеристика | Порошковый материал может быть нанесен на поверхность: используется магнетронное распыление. При распылении порошковый материал прокатывается в полости для достижения равномерного покрытия на поверхности порошка; Может ли вакуумировать через атмосферу |
Основной параметр | Электропитание: AC220V 50HZ Мощность: <1500 Вт |
Радиочастотный источник питания | Входная мощность: 220 В 3 А Выходная мощность: 0-300 Вт Выходная частота: 13,56 Гц Режим охлаждения: Режим охлаждения внутри оборудования — воздушное охлаждение. Размер: 444(Д)*410(Ш)*128(В) |
Магнитный управляемый мишень | 2-дюймовая магнетронная распылительная головка (с водоохлаждаемым промежуточным слоем), соединенная с вакуумной камерой с помощью быстрого соединения; Требования к размеру цели: толщина φ50*(≦3 мм) мм; 2-дюймовая магнетронная распылительная головка выдерживает максимальную мощность радиочастот: 300 Вт; 2-дюймовая магнетронная распылительная головка выдерживает максимальную мощность постоянного тока: 500 Вт; |
Материал мишени | Подходит для напыления золота, серебра, алюминия, меди и других металлов, меньше повреждает подложку и не повышает температуру подложки. Медная мишень φ2 “*3 мм является стандартной. Требуемый размер цели: толщина φ2 “X(≦3мм)мм |
Камера напыления | Камера напыления представляет собой трубчатую печь специальной формы, изготовленную из кварцевого стекла, размерами: (диаметр 100+ 150+ 100) ×800 (мм); Камеру можно вращать, скорость регулируется от 1 до 10 об/мин, скорость регулируется регулятором на передней панели, а на экране дисплея отображается скорость. Два конца полости герметизированы быстрым соединением между фланцами магнитной жидкости и уплотнительными фланцами из нержавеющей стали, а опорная рама установлена на обоих концах фланцев для поддержки фланцев магнитной жидкости. Снимите фланцы магнитной жидкости с обоих концов и наклоните корпус печи (управляемый ручкой на передней панели) для быстрой выгрузки материала. На левом фланце установлено муфтовое соединение φ6,35 в качестве воздухозаборника, игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет воздухозаборником, а механический манометр с диапазоном измерения -0,1-0,15 МПа используется для наблюдения за давлением внутри печи; сквозное отверстие φ19 мм используется для пропускания распылительной мишени внутрь полости. Пагодный патрубок диаметром φ8 м на правом фланце используется в качестве воздуховыпускного отверстия, игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет воздуховыпускным отверстием, разъем KF25 подключен к вакуумной системе, интерфейс KF16 используется в качестве резервного интерфейса, а цифровой дисплей вакуумметра может быть установлен опционально. Правый фланец установлен с кварцевой перегородкой в полости, а на перегородке установлены четыре перегородки из нержавеющей стали для перемешивания диспергированного материала с целью его полного распыления. В верхней части полости установлено ограждение для защиты плазмы, а в верхней части ограждения имеется кварцевый смотровой порт длиной и шириной 240 м, через который можно наблюдать за распылением материалов. |
Система нагрева | Вращающаяся кварцевая напылительная полость покрыта нагревательным устройством, которое может осуществлять нагрев вращающейся кварцевой напылительной полости. Система отопления реализует программное регулирование температуры с помощью ПИД-регулятора температуры. Максимальная температура нагрева, допускаемая герметичностью камеры, составляет 200℃. Однако температура нагревательной системы может быть установлена без этого ограничения, а повреждение деталей, вызванное эксплуатацией при температуре более 200°C, не несет ответственности изготовителя. Точность контроля температуры: ±1°C |
Вакуумная система | Безмасляный спиральный вакуумный насос; Модель: CY-GWSP600, параметры следующие: Скорость выхлопа: 8,71/с; 31,3 м3/ч Предельный вакуум: 1 Па Значение шума: 36 LDB (A) Скорость утечки (выпускное отверстие и газобалластный клапан закрыты): 1*10-8Па·м3/с Максимальное давление на входе/выходе: 0,1/0,13 МПа Рабочая температура: 5~40C Метод охлаждения: воздушное охлаждение Размер впускного/выпускного отверстия: KF40/KF16 Однофазный двигатель: Мощность 0,75 кВт; Напряжение: ~ 115 В (50 Гц/60 Гц); 200 ~ 230 В 50 Гц/60 Гц), два варианта напряжения; Скорость: 1425(50Гц), 1725(60Гц) об/мин; Форма соединения: национальный стандарт, Северная Америка, Европа, Великобритания/Ирландия, Индия Трехфазный двигатель: Мощность: 0,75 кВт; Напряжение: 200 ~ 230 и 380 ~ 415(50Гц); или 200 ~ 230 и 460(60Гц)В Скорость: 1425(50Гц), 1725(60Гц) об/мин |
Оборудование для охлаждения воды | Модель: KJ-5000 Рабочий ток: 1,4-2,1 А Холодопроизводительность: 2361 БТЕ/ч Размер: 55X28X43см(ДxШxВ) Емкость бака: 6 л Расход воды: 16 л/мин |
Габаритные размеры (ДxШxВ) | 1500x1000x1500 мм при открытом щитке |
Вес Нетто/Брутто | 100/150 кг |