CY-MSP180SRF-RPM Вращающаяся установка магнетронного распыления порошка

Наличие:

Доступно для предзаказа


Особенности:

  • Порошковое покрытие относится к помещению одной или нескольких частиц порошка в оборудование для нанесения покрытия с целью формирования слоя материала, покрывающего поверхность частиц с помощью физических или химических методов. Целью порошкового покрытия может быть изменение свойств поверхности частиц, повышение стабильности частиц, контроль скорости высвобождения частиц и т. д. Эта технология является важным техническим средством и широко используется в фармацевтике, косметике, пищевой промышленности, сельском хозяйстве и других областях.
  • Механизм порошкового покрытия в основном включает физический механизм, механизм сборки и механизм проникновения. Физический механизм использует механическое воздействие для смешивания частиц и материалов покрытия таким образом, чтобы они прилипали к поверхности частиц. Механизм сборки заключается в сборке материалов покрытия на поверхности частиц с помощью технологии сборки для формирования двухмерной или трехмерной структуры покрытия. Механизм проникновения заключается в проникновении материала покрытия, что позволяет ему проникать в поверхность частиц и формировать структуру покрытия.
  • В практическом применении оборудование для модификации порошкового покрытия играет ключевую роль. Это оборудование может эффективно контролировать толщину и однородность пленки покрытия, тем самым улучшая стабильность и срок службы среды. Кроме того, важную роль играет и экологическое оборудование. Оно в основном используется для контроля факторов окружающей среды в процессе модификации порошкового покрытия, таких как температура, влажность и давление воздуха, чтобы гарантировать, что процесс модификации осуществляется в оптимальных условиях.
  • Технология порошкового покрытия может не только изменять физические и химические свойства частиц порошка, такие как поверхностные функциональные группы, гидрофобность поверхности, электрические свойства и т. д., но также может использовать явления адсорбции, адгезии и осаждения для покрытия порошка с целью достижения модификации поверхности порошка. Простой процесс модификации.
  • Короче говоря, порошковое покрытие является важным техническим средством для удовлетворения потребностей применения в различных областях путем изменения поверхностных свойств частиц порошка. Для получения дополнительной информации рекомендуется обратиться к соответствующей литературе в области химии или проконсультироваться со специалистом в области химии.

Доступно для предзаказа

CY-MSP180SRF-RPM Вращающаяся установка магнетронного распыления порошка может достичь эффекта равномерного покрытия поверхности порошка путем вращения порошка в камере распыления. Камеру можно вращать и наклонять, а материал можно быстро выгружать.

Применение:

  • В области микроэлектроники вращающееся порошковое магнетронное распылительное оборудование используется в качестве технологии нетермического покрытия, особенно подходящей для материалов, которые трудно выращивать или которые не подходят для химического осаждения из паровой фазы (CVD) или химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). Осаждение тонких пленок. Оно может готовить пленки большой площади и очень однородные пленки, такие как пленки омических контактов из металлических электродов и диэлектрические пленки.
  • Вращающийся порошковый магнетронный распылительный инструмент также имеет важные приложения в области оптических пленок, низкоэмиссионного стекла и прозрачного проводящего стекла. Например, он может распылять для подготовки пленок SiO2 и легированных пленок оксида ZnO или InSn (ITO) на стеклянных подложках или гибких подложках, так что средний коэффициент пропускания света в диапазоне видимого света достигает более 90%.
  • В механической обработке технология распыления вращающегося порошкового магнетрона может использоваться для производства поверхностных функциональных пленок, сверхтвердых пленок, самосмазывающихся пленок и т. д., которые могут эффективно улучшить твердость поверхности, прочность композита, износостойкость и химическую стабильность при высоких температурах. Тем самым продлевая срок службы покрытого изделия.
  • Кроме того, вращающийся порошковый магнетронный распылитель может также использоваться для производства различных функциональных пленок, таких как пленки с отражением, преломлением и пропусканием, а также пленки с поглощением, поляризацией и т. д. Он также широко используется в производстве прозрачного проводящего стекла для плоских дисплейных устройств, устройств и приборов экранирования микроволновых и радиочастотных излучений, а также датчиков.

Смотреть похожее оборудование …

Модель CY-MSP180SRF-RPM Вращающаяся установка магнетронного распыления порошка
Характеристика Порошковый материал может быть нанесен на поверхность: используется магнетронное распыление. При распылении порошковый материал прокатывается в полости для достижения равномерного покрытия на поверхности порошка;
Может ли вакуумировать через атмосферу
Основной параметр Электропитание: AC220V 50HZ
Мощность: <1500 Вт
Радиочастотный источник питания Входная мощность: 220 В 3 А
Выходная мощность: 0-300 Вт
Выходная частота: 13,56 Гц
Режим охлаждения: Режим охлаждения внутри оборудования — воздушное охлаждение.
Размер: 444(Д)*410(Ш)*128(В)
Магнитный управляемый мишень 2-дюймовая магнетронная распылительная головка (с водоохлаждаемым промежуточным слоем), соединенная с вакуумной камерой с помощью быстрого соединения;
Требования к размеру цели: толщина φ50*(≦3 мм) мм;
2-дюймовая магнетронная распылительная головка выдерживает максимальную мощность радиочастот: 300 Вт;
2-дюймовая магнетронная распылительная головка выдерживает максимальную мощность постоянного тока: 500 Вт;
Материал мишени Подходит для напыления золота, серебра, алюминия, меди и других металлов, меньше повреждает подложку и не повышает температуру подложки.
Медная мишень φ2 “*3 мм является стандартной.
Требуемый размер цели: толщина φ2 “X(≦3мм)мм
Камера напыления Камера напыления представляет собой трубчатую печь специальной формы, изготовленную из кварцевого стекла, размерами: (диаметр 100+ 150+ 100) ×800 (мм);
Камеру можно вращать, скорость регулируется от 1 до 10 об/мин, скорость регулируется регулятором на передней панели, а на экране дисплея отображается скорость.
Два конца полости герметизированы быстрым соединением между фланцами магнитной жидкости и уплотнительными фланцами из нержавеющей стали, а опорная рама установлена ​​на обоих концах фланцев для поддержки фланцев магнитной жидкости. Снимите фланцы магнитной жидкости с обоих концов и наклоните корпус печи (управляемый ручкой на передней панели) для быстрой выгрузки материала.
На левом фланце установлено муфтовое соединение φ6,35 в качестве воздухозаборника, игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет воздухозаборником, а механический манометр с диапазоном измерения -0,1-0,15 МПа используется для наблюдения за давлением внутри печи; сквозное отверстие φ19 мм используется для пропускания распылительной мишени внутрь полости.
Пагодный патрубок диаметром φ8 м на правом фланце используется в качестве воздуховыпускного отверстия, игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет воздуховыпускным отверстием, разъем KF25 подключен к вакуумной системе, интерфейс KF16 используется в качестве резервного интерфейса, а цифровой дисплей вакуумметра может быть установлен опционально.
Правый фланец установлен с кварцевой перегородкой в ​​полости, а на перегородке установлены четыре перегородки из нержавеющей стали для перемешивания диспергированного материала с целью его полного распыления.
В верхней части полости установлено ограждение для защиты плазмы, а в верхней части ограждения имеется кварцевый смотровой порт длиной и шириной 240 м, через который можно наблюдать за распылением материалов.
Система нагрева Вращающаяся кварцевая напылительная полость покрыта нагревательным устройством, которое может осуществлять нагрев вращающейся кварцевой напылительной полости.
Система отопления реализует программное регулирование температуры с помощью ПИД-регулятора температуры.
Максимальная температура нагрева, допускаемая герметичностью камеры, составляет 200℃. Однако температура нагревательной системы может быть установлена ​​без этого ограничения, а повреждение деталей, вызванное эксплуатацией при температуре более 200°C, не несет ответственности изготовителя.
Точность контроля температуры: ±1°C
Вакуумная система Безмасляный спиральный вакуумный насос; Модель: CY-GWSP600, параметры следующие:
Скорость выхлопа: 8,71/с; 31,3 м3/ч
Предельный вакуум: 1 Па
Значение шума: 36 LDB (A)
Скорость утечки (выпускное отверстие и газобалластный клапан закрыты): 1*10-8Па·м3/с
Максимальное давление на входе/выходе: 0,1/0,13 МПа
Рабочая температура: 5~40C
Метод охлаждения: воздушное охлаждение
Размер впускного/выпускного отверстия: KF40/KF16
Однофазный двигатель:
Мощность 0,75 кВт;
Напряжение: ~ 115 В (50 Гц/60 Гц); 200 ~ 230 В 50 Гц/60 Гц), два варианта напряжения;
Скорость: 1425(50Гц), 1725(60Гц) об/мин;
Форма соединения: национальный стандарт, Северная Америка, Европа, Великобритания/Ирландия, Индия
Трехфазный двигатель:
Мощность: 0,75 кВт;
Напряжение: 200 ~ 230 и 380 ~ 415(50Гц); или 200 ~ 230 и 460(60Гц)В
Скорость: 1425(50Гц), 1725(60Гц) об/мин
Оборудование для охлаждения воды Модель: KJ-5000
Рабочий ток: 1,4-2,1 А
Холодопроизводительность: 2361 БТЕ/ч
Размер: 55X28X43см(ДxШxВ)
Емкость бака: 6 л
Расход воды: 16 л/мин
Габаритные размеры (ДxШxВ) 1500x1000x1500 мм при открытом щитке
Вес Нетто/Брутто 100/150 кг