CY-MSP190S-1T-UD установка для магнетронного распыления с одной мишенью и камерой из нержавеющей стали
CY-MSP190S-1T-UD установка для магнетронного распыления с одной мишенью и камерой из нержавеющей стали
CY-MSP190S-1T-UD установка для магнетронного распыления с одной мишенью и камерой из нержавеющей стали

CY-MSP190S-1T-UD установка для магнетронного распыления с одной мишенью и камерой из нержавеющей стали

Наличие:

Доступно для предзаказа

Особенности:

  • Это оборудование CY-MSP190S-1T-UD представляет собой настольный тип с нижней камерой из нержавеющей стали с одной мишенью магнетронного распыления, который может быть использован для подготовки тонких металлических пленок.
  • Он используется в области электроники, оптики, подготовки специальной керамики и т. д. Он также может использоваться для подготовки лабораторных образцов для СЭМ.
  • Применимый материал мишени для магнетронной мишени – φ50 x толщина 3 мм
  • Размеры камеры – внешний диаметр φ194 мм, внутренний диаметр 186 мм x высота 230 мм;

Доступно для предзаказа

CY-MSP190S-1T-UD установка для магнетронного распыления с одной мишенью и камерой из нержавеющей стали представляет собой настольный тип с нижней камерой из нержавеющей стали с одной мишенью магнетронного распыления, который может быть использован для подготовки тонких металлических пленок. Он используется в области электроники, оптики, подготовки специальной керамики и т. д. Он также может использоваться для подготовки лабораторных образцов для СЭМ.

В этом наборе конфигураций используется камера высокого вакуума из нержавеющей стали, а камера оснащена кварцевым смотровым окном с перегородкой для облегчения наблюдения и регистрации экспериментов; конструкция камеры имеет превосходные вакуумные характеристики и компактную форму, что делает ее очень подходящей для лабораторное использование.

Категория:
Модель CY-MSP190S-1T-UD Настольная установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления с камерой из нержавеющей стали с нижней мишенью
Источник питания для распыления источник постоянного тока мощностью 300 Вт; максимальное выходное напряжение 600 В, максимальный выходной ток 500 мА.
Магнетронная мишень 2-дюймовая сбалансированная мишень, расположенная внизу, оснащенная магнитной соединительной перегородкой;
Применимый материал мишени для магнетронной мишени φ50 мм x толщина 3 мм
Размеры камеры внешний диаметр φ194 мм, внутренний диаметр 186 мм x высота 230 мм;
Материал полости нержавеющая сталь 304
Вращающийся нагревательный столик для образцов скорость 1~20 об/мин, плавная регулировка; температура нагрева до 500 ℃, рекомендуемая скорость нагрева 10 ℃/мин, максимальная 20 ℃/мин.
Метод охлаждения для мишени магнетрона и молекулярного насоса требуется циркуляционный водяной охладитель;
Кулер для воды емкость резервуара для воды 9 л, расход 10 л/мин.
Система подачи газа массовый расходомер, тип газа Ar, расход 1~30 см3/мин (настраивается);
Точность расходомера ±1,5% от диапазона
Интерфейс выхлопа вакуумной камеры KF40;
Интерфейс воздухозаборника представляет собой двойной соединительный элемент размером 1/4 дюйма;
Экран дисплея цветной сенсорный экран размером 7 дюймов;
Ток распыления можно регулировать, а также можно устанавливать максимальное значение тока распыления и максимальное значение вакуума;
Защита перегрузка по току и слишком низкий вакуум автоматически отключат ток распыления;
Предельный вакуум 5E-4Па (с молекулярным насосом);
Измерение вакуума осуществляется резистивным вакуумметром с диапазоном измерения от 1 до 105 Па.

Похожие товары