Модель | TN-MSH100-Ⅰ-DCRF-Q Установка для нанесения порошкового магнетронного покрытия |
Функции | Порошковый материал может быть нанесен на поверхность: используется магнетронное распыление, и порошковый материал прокатывается в полости во время распыления для достижения равномерного покрытия на поверхности порошка; Можно пылесосить или проветривать |
Основные параметры | источник питания | 220 В переменного тока 50 Гц |
Мощность | <1500 Вт |
Мощность ВЧ | Входная мощность | 220В 3А |
Выходная мощность | 0-300 Вт |
Выходная частота | 13,56 Гц |
Метод охлаждения | Метод охлаждения внутри оборудования – воздушное охлаждение. |
Размеры камеры (ДxШxВ) | 444x410x128 мм |
Магнетронная распылительная головка | 2-дюймовая магнетронная распылительная головка (с водоохлаждаемой прослойкой), соединенная с вакуумной камерой с помощью быстроразъемного соединения; |
Размер цели | φ50*(≦3мм)ммтолщина |
2-дюймовая магнетронная распылительная головка | Мощность ВЧ 300 Вт |
2-дюймовая магнетронная распылительная головка | Мощность постоянного тока 500 Вт |
Камера напыления | Камера напыления представляет собой трубчатую плавильную печь специальной формы, изготовленную из кварцевого стекла, размерами: (Ф100+Ф150+Ф100) ×800 (мм); Камера может вращаться, скорость регулируется от1 до 10 об/мин, скорость регулируется регулятором скорости на передней панели, а на дисплее отображается скорость. Два конца полости герметизированы фланцем с магнитной жидкостью и уплотнительным фланцем из нержавеющей стали с помощью метода быстрого соединения, а на обоих концах фланца установлены опорные рамы для поддержки фланца с магнитной жидкостью. При выгрузке снимите фланцы магнитной жидкости с обоих концов и наклоните корпус печи (управляется ручкой на передней панели), чтобы быстро выгрузить материал. На левом фланце установлено муфтовое соединение φ6,35в качестве воздухозаборника, игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет включением-выключением воздухозаборника, а механический манометр с диапазоном-0,1-0,15 МПаиспользуется для наблюдения за давлением. давление внутри трубы печи;Сквозное отверстие φ19 ммиспользуется для пропускания распыляемой мишени в камеру. В качестве воздуховыпускного отверстия используется пагода-соединитель φ8 мна правом фланце . Игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет включением-выключением воздуховыпускного отверстия. СоединениеKF25подключено к вакуумной системе. ИнтерфейсKF16используется в качестве запасного Интерфейс. Цифровой дисплей может быть установлен как опция. Вакуумметр; В камере на правом концевом фланце установлена кварцевая перегородка, а на перегородке установлены четыре перегородки из нержавеющей стали для перемешивания и измельчения материала с целью его полного распыления. На верхней части камеры установлено защитное устройство для экранирования плазмы. На верхней части защитного устройства имеется кварцевый смотровой порт длиной и шириной240 мдля наблюдения за распылением материала. |
Система нагрева | На внешней стороне вращающейся кварцевой камерынапыления расположено нагревательное устройство,котороеможет нагревать вращающуюся камеру. Система нагрева реализует программное регулирование температуры с помощьюПИД-регулятора температуры. Максимальнаятемпература нагрева, допускаемая герметичностью камеры,составляет200°C;однако, температура, на которую может быть установлена система нагрева, этим не ограничивается. Производитель не несет ответственности за любые повреждения компонентов, вызванные эксплуатацией при температурах, превышающих200° С. Точность контроля температуры:±1°C |
Вакуумная система | Безмасляный спиральный вакуумный насос;модель:: CY-GWSP600, параметры следующие: Скорость выхлопа: 8,71/с; 31,3 м3/ч Предельный вакуум: 1Па Значение шума:36лдБ(A) Скорость утечки(выпускное отверстие и газобалластный клапан закрыты): 1*10-8Па·м3/с *Максимальноедавление на входе/ выходе: 0,1/0,13 МПа Температура рабочей среды: 5~40C Метод охлаждения: воздушное охлаждение Размер впускного/выпускного отверстия:KF40/KF16 Однофазный двигатель: Мощность0,75 кВт; Напряжение:~115 В (50 Гц/60 Гц);200~230 В50 Гц/60 Гц),два варианта напряжения; Скорость:1425(50Гц),1725(60Гц) об/мин; Тип разъема: Национальный стандарт, Северная Америка, Европа, Великобритания/Ирландия, Индия Трехфазный двигатель: Мощность:0,75 кВт; Напряжение:200~230и380~415 (50 Гц); или200~230и460 (60 Гц) В Скорость: 1425 (50 Гц),1725 (60 Гц) об/мин |
Оборудование для охлаждения воды | Модель: KJ-5000 Рабочий ток: 1,4-2,1А Холодопроизводительность: 2361 БТЕ/ч Размер: 55X28X43 см (длинаxширинаxвысота) Емкость резервуара для воды: 6 л Расход воды: 16 л/мин |
Габаритные размеры (ДxШxВ) | 1500x1000x1500 мм(В)Размеры при открытой защитной крышке |
Вес Нетто/Брутто | 100 кг |