TN-MSH100-Ⅰ-DCRF-Q Установка для нанесения порошкового магнетронного покрытия

Наличие:

Доступно для предзаказа


Особенности:

  • Установка для нанесения порошкового магнетронного покрытия обеспечивает равномерное нанесение покрытия на поверхность порошка за счет вращения порошка в камере напыления. Камеру можно вращать и наклонять, что позволяет быстро выгружать материалы.
  • Порошковый материал может быть нанесен на поверхность: используется магнетронное распыление, и порошковый материал прокатывается в полости во время распыления для достижения равномерного покрытия на поверхности порошка;
    Можно пылесосить или проветривать
  • Размеры камеры (ДxШxВ) – 444x410x128 мм

Доступно для предзаказа

Установка для нанесения порошкового магнетронного покрытия обеспечивает равномерное нанесение покрытия на поверхность порошка за счет вращения порошка в камере напыления. Камеру можно вращать и наклонять, что позволяет быстро выгружать материалы.
Порошковое покрытие представляет собой помещение одной или нескольких частиц порошка в оборудование для нанесения покрытия с целью формирования слоя вещества, покрывающего поверхность частиц, с помощью физических или химических методов. Целью порошкового покрытия может быть изменение свойств поверхности частиц, повышение стабильности частиц, контроль скорости высвобождения частиц и т. д. Эта технология является важным техническим средством и широко применяется в фармацевтической, косметической, пищевой, сельскохозяйственной и других областях.

Механизм порошкового покрытия в основном включает физический механизм, механизм сборки и механизм проникновения. Физический механизм смешивает частицы с материалом покрытия посредством механического воздействия, заставляя его прилипать к поверхности частиц. Механизм сборки заключается в сборке материала покрытия на поверхности частиц с помощью технологии сборки для формирования двухмерной или трехмерной структуры покрытия. Механизм проникновения заключается в том, что материал покрытия проникает в поверхность частиц и образует структуру покрытия.

В практическом применении ключевую роль играет оборудование для порошковой окраски и модификации. Эти устройства позволяют эффективно контролировать толщину и однородность пленки покрытия, тем самым повышая стабильность и срок службы среды. Кроме того, важную роль играет и экологическое оборудование. Оно в основном используется для контроля факторов окружающей среды, таких как температура, влажность и давление воздуха во время процесса модификации порошкового покрытия, чтобы гарантировать, что процесс модификации осуществляется в оптимальных условиях.

Технология порошкового покрытия позволяет не только изменять физические и химические свойства частиц порошка, такие как поверхностные функциональные группы, гидрофобность поверхности, электрические свойства и т. д., но и использовать явления адсорбции, адгезии и осаждения для покрытия порошков с целью достижения простой модификационной обработки.
Короче говоря, порошковое покрытие является важным техническим средством, позволяющим удовлетворять потребности различных областей применения путем изменения поверхностных свойств частиц порошка. Для получения дополнительной информации рекомендуется обратиться к соответствующей литературе в области химии или проконсультироваться со специалистами в области химии.

Применение:

  • В области микроэлектроники распыление вращающимся магнетроном порошка используется как не- термическое покрытие. Технология особенно подходит для нанесения тонких пленок материалов, которые трудно выращивать или которые невозможно выращивать методом химического осаждения из паровой фазы (CVD) или методом химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). Он позволяет производить пленки большой площади и высокой однородности, такие как пленки металлических электродов с омическим контактом и диэлектрические пленки.
  • Вращающееся порошковое магнетронное распыление также имеет важные применения в области оптических тонких пленок, стекла с низкой излучательной способностью и прозрачного проводящего стекла. Например, он может напылять тонкие пленки SiO2 и тонкие пленки легированного оксида ZnO или InSn ( ITO ) на стеклянные подложки или гибкие подложки , так что средний коэффициент пропускания света в видимом диапазоне света достигает более 90%.
  • В механической обработке технология распыления вращающегося порошкового магнетрона может использоваться для производства поверхностных функциональных пленок, сверхтвердых пленок, самосмазывающихся пленок и т. д., эффективно улучшая твердость поверхности, прочность композита, износостойкость и химическую стабильность при высоких температурах. . Тем самым продлевая срок службы покрытия.
  • Кроме того, вращающееся порошковое магнетронное распылительное устройство может быть использовано для получения различных функциональных пленок, таких как пленки с функциями отражения, преломления и пропускания, а также пленки с функциями поглощения, поляризации и т. д. Он также широко используется в производстве прозрачного проводящего стекла для плоских дисплеев, устройств и компонентов экранирования микроволнового и радиочастотного излучения, а также датчиков.
Модель TN-MSH100-Ⅰ-DCRF-Q Установка для нанесения порошкового магнетронного покрытия
Функции Порошковый материал может быть нанесен на поверхность: используется магнетронное распыление, и порошковый материал прокатывается в полости во время распыления для достижения равномерного покрытия на поверхности порошка;
Можно пылесосить или проветривать
Основные параметры источник питания 220 В переменного тока 50 Гц
Мощность <1500 Вт
Мощность ВЧ Входная мощность 220В 3А
Выходная мощность 0-300 Вт
Выходная частота 13,56 Гц
Метод охлаждения Метод охлаждения внутри оборудования – воздушное охлаждение.
Размеры камеры (ДxШxВ) 444x410x128 мм
Магнетронная распылительная головка 2-дюймовая магнетронная распылительная головка (с водоохлаждаемой прослойкой), соединенная с вакуумной камерой с помощью быстроразъемного соединения;
Размер цели φ50*(≦3мм)ммтолщина
2-дюймовая магнетронная распылительная головка Мощность ВЧ 300 Вт
2-дюймовая магнетронная распылительная головка Мощность постоянного тока 500 Вт
Камера напыления Камера напыления представляет собой трубчатую плавильную печь специальной формы, изготовленную из кварцевого стекла, размерами: (Ф100+Ф150+Ф100) ×800 (мм);

Камера может вращаться, скорость регулируется от1 до 10 об/мин, скорость регулируется регулятором скорости на передней панели, а на дисплее отображается скорость.

Два конца полости герметизированы фланцем с магнитной жидкостью и уплотнительным фланцем из нержавеющей стали с помощью метода быстрого соединения, а на обоих концах фланца установлены опорные рамы для поддержки фланца с магнитной жидкостью. При выгрузке снимите фланцы магнитной жидкости с обоих концов и наклоните корпус печи (управляется ручкой на передней панели), чтобы быстро выгрузить материал.

На левом фланце установлено муфтовое соединение φ6,35в качестве воздухозаборника, игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет включением-выключением воздухозаборника, а механический манометр с диапазоном-0,1-0,15 МПаиспользуется для наблюдения за давлением. давление внутри трубы печи;Сквозное отверстие φ19 ммиспользуется для пропускания распыляемой мишени в камеру.

В качестве воздуховыпускного отверстия используется пагода-соединитель φ8 мна правом фланце . Игольчатый клапан из нержавеющей стали управляет включением-выключением воздуховыпускного отверстия. СоединениеKF25подключено к вакуумной системе. ИнтерфейсKF16используется в качестве запасного Интерфейс. Цифровой дисплей может быть установлен как опция. Вакуумметр;

В камере на правом концевом фланце установлена кварцевая перегородка, а на перегородке установлены четыре перегородки из нержавеющей стали для перемешивания и измельчения материала с целью его полного распыления.

На верхней части камеры установлено защитное устройство для экранирования плазмы. На верхней части защитного устройства имеется кварцевый смотровой порт длиной и шириной240 мдля наблюдения за распылением материала.

Система нагрева На внешней стороне вращающейся кварцевой камерынапыления расположено нагревательное устройство,котороеможет нагревать вращающуюся камеру.
Система нагрева реализует программное регулирование температуры с помощьюПИД-регулятора температуры.
Максимальнаятемпература нагрева, допускаемая герметичностью камеры,составляет200°C;однако, температура, на которую может быть установлена система нагрева, этим не ограничивается. Производитель не несет ответственности за любые повреждения компонентов, вызванные эксплуатацией при температурах, превышающих200° С.
Точность контроля температуры:±1°C
Вакуумная система Безмасляный спиральный вакуумный насос;модель:: CY-GWSP600, параметры следующие:
Скорость выхлопа: 8,71/с; 31,3 м3/ч
Предельный вакуум: 1Па
Значение шума:36лдБ(A)
Скорость утечки(выпускное отверстие и газобалластный клапан закрыты): 1*10-8Па·м3/с
*Максимальноедавление на входе/ выходе: 0,1/0,13 МПа
Температура рабочей среды: 5~40C
Метод охлаждения: воздушное охлаждение
Размер впускного/выпускного отверстия:KF40/KF16
Однофазный двигатель:
Мощность0,75 кВт;
Напряжение:~115 В (50 Гц/60 Гц);200~230 В50 Гц/60 Гц),два варианта напряжения;
Скорость:1425(50Гц),1725(60Гц) об/мин;
Тип разъема: Национальный стандарт, Северная Америка, Европа, Великобритания/Ирландия, Индия
Трехфазный двигатель:
Мощность:0,75 кВт;
Напряжение:200~230и380~415 (50 Гц); или200~230и460 (60 Гц) В
Скорость: 1425 (50 Гц),1725 (60 Гц) об/мин
Оборудование для охлаждения воды Модель: KJ-5000
Рабочий ток: 1,4-2,1А
Холодопроизводительность: 2361 БТЕ/ч
Размер: 55X28X43 см (длинаxширинаxвысота)
Емкость резервуара для воды: 6 л
Расход воды: 16 л/мин
Габаритные размеры (ДxШxВ) 1500x1000x1500 мм(В)Размеры при открытой защитной крышке
Вес Нетто/Брутто 100 кг