TN-MSH325-III-DCDCRF-SS Раздельная высоковакуумная установка магнетронного распыления с тремя мишенями

Система нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих тонких пленок, тонких пленок сплавов и т. д. По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий не только широко используется, но и имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки тонких пленок материалов в лабораторных условиях.

Система нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих тонких пленок, тонких пленок сплавов и т. д. По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий не только широко используется, но и имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки тонких пленок материалов в лабораторных условиях.

Трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий — это экономически эффективное оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления, самостоятельно разработанное нашей компанией, которое отличается стандартизацией, модульностью и возможностью настройки под индивидуальные требования. Диаметр магнетронной мишени составляет 2 дюйма, и заказчики могут выбрать ее в соответствии с размером покрываемой подложки; источник питания — два источника постоянного тока мощностью 500 Вт и один источник радиочастотной мощности мощностью 300 Вт . Источник постоянного тока может использоваться для подготовки металлические пленки и две мишени могут отвечать требованиям многослойности или необходимости в нескольких покрытиях.

Прибор для нанесения покрытия имеет два высокоточных массовых расходомера. Если у заказчика есть другие потребности, газовый тракт до четырех массовых расходомеров может быть настроен для удовлетворения потребностей сложной газовой среды; прибор оснащен передовой турбомолекулярной насосная группа в стандартной комплектации , а предельный вакуум может достигать 1,0E-5 Па , также доступны для приобретения другие типы молекулярных насосов. Газовый путь молекулярного насоса контролируется несколькими электромагнитными клапанами, что позволяет открывать полость и извлекать образец, не выключая насос, что значительно повышает эффективность работы. Этот продукт может быть оснащен промышленным компьютером “все в одном” для управления системой. Компьютерная программа может реализовать большинство функций, таких как управление группой вакуумных насосов и источником питания распыления, что может еще больше повысить эффективность вашего эксперимента.