TN-MSP500S-3DC Установка нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями

Система нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена, и т. д. По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий не только широко используется, но и имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки тонких пленок материалов в лабораторных условиях.

Трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий — это экономически эффективное оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления, самостоятельно разработанное нашей компанией, которое отличается стандартизацией, модульностью и возможностью настройки под индивидуальные требования. Магнетронная мишень доступна в размерах 1 дюйм и 2 дюйма. Клиенты могут выбирать в соответствии с размером подложки, на которую будет наноситься покрытие. Источник питания — это источник постоянного тока мощностью 500 Вт , который можно использовать для подготовки металлических пленок. Три цели могут удовлетворить требования многослойности или множественной необходимости покрытия. Если у клиентов есть другие потребности в покрытии, другие источники питания RF и импульсные источники питания могут быть настроены. Различные типы источников питания доступны в различных спецификациях от 300 Вт до 1000 Вт .

Прибор для нанесения покрытия оснащен двумя высокоточными массовыми расходомерами. Если у заказчика есть другие потребности, газовый тракт до четырех массовых расходомеров может быть настроен для удовлетворения потребностей сложной газовой среды строительства; прибор оснащен В стандартную комплектацию входит усовершенствованная турбомолекулярная насосная группа с предельным вакуумом, который может достигать 1,0E-5 Па, а также доступны для приобретения другие типы молекулярных насосов. Газовый путь молекулярного насоса контролируется несколькими электромагнитными клапанами, что позволяет открывать полость и извлекать образец, не выключая насос, что значительно повышает эффективность работы. Этот продукт может быть оснащен промышленным компьютером “все в одном” для управления системой. Компьютерная программа может реализовать большинство функций, таких как управление группой вакуумных насосов и источником питания распыления, что может еще больше повысить эффективность вашего эксперимента.

Система нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена, и т. д. По сравнению с аналогичным оборудованием, трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий не только широко используется, но и имеет такие преимущества, как небольшой размер и простота эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки тонких пленок материалов в лабораторных условиях.