TN-MSP500S-3DC Установка нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями
TN-MSP500S-3DC Установка нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями
TN-MSP500S-3DC Установка нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями

TN-MSP500S-3DC Установка нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями

Наличие:

Доступно для предзаказа

Особенности:

  • Система нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена, и т. д.
  • По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий не только широко используется, но и имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки тонких пленок материалов в лабораторных условиях.
  • Размеры камеры – Диаметр 300мм×300мм

Доступно для предзаказа

N-MSP500S-3DC Установка нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок политетрафторэтилена, и т. д.

По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный распылительный прибор для нанесения покрытий не только широко используется, но и имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации.

Это идеальное оборудование для подготовки тонких пленок материалов в лабораторных условиях.

Категория:
Модель TN-MSP500S-3DC Установка нанесения покрытий методом магнетронного распыления с тремя мишенями
Образец Размер φ 140 мм Точность контроля температуры ± 1 ℃
Температура нагрева Макс. 500 ℃ Скорость 1-20 об/мин, регулируемая
Магнетронная распылительная головка количество 2”x3 (1”, 2” опционально) Технические характеристики кулера для воды Охладитель циркулирующей воды производительностью 10 л/мин
Метод охлаждения Водяное охлаждение
Вакуумная камера Размер камеры Диаметр 300мм×300мм Окно наблюдения φ 100 мм
Материал полости Нержавеющая сталь Как открыть Верхнее отверстие
Массовый расходомер 2 канала; диапазон 100 см3/мин ; 100 см3/мин (несколько газовых каналов могут быть настроены в соответствии с потребностями клиента)
Вакуумная система Модель продукта CY-GZK103-A Интерфейс вытяжки воздуха CF160
Молекулярный насос CY-600 Интерфейс выхлопной системы КФ40
Вакуумный насос Пластинчато-роторный насос Измерение вакуума Вакуумметр составной
Абсолютный вакуум 1.0E-5Па Источник питания Переменный ток;220В 50/60Гц
Скорость откачки Молекулярный насос: 600 л/с Пластинчато-роторный насос: 1,1 л/с Комплексная производительность откачки: Степень вакуума может достигать: 1,0E-3 Па за 20 минут
Конфигурация питания Количество Источник питания постоянного тока x3 Максимальная выходная мощность Блок питания постоянного тока 500 Вт
Прочее Напряжение питания AC220В,50Гц Размер машины 600мм х 650мм х 1280мм
Мощность машины 4КВт Вес машины 300кг
Абсолютный вакуум 1.0E-5Па

Похожие товары