TN-MSZ194-I-DC-SS Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления постоянного тока с одной мишенью
TN-MSZ194-I-DC-SS Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления постоянного тока с одной мишенью

TN-MSZ194-I-DC-SS Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления постоянного тока с одной мишенью

Наличие:

Доступно для предзаказа

Особенности:

  • Одноцелевой магнетронный прибор для нанесения покрытий может использоваться для подготовки тонких металлических пленок.
  • Он используется в области электроники, оптики, специальной керамики и т. д. Он также может использоваться для подготовки лабораторных образцов SEM.
  • Размеры образца – φ100мм
  • Размер камеры – φ194×263мм

Доступно для предзаказа

TN-MSZ194-I-DC-SS Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления постоянного тока с одной мишенью может использоваться для подготовки тонких металлических пленок. Он используется в области электроники, оптики, специальной керамики и т. д.

Прибор также может использоваться для подготовки лабораторных образцов SEM.

Одноцелевой магнетронный прибор для нанесения покрытий может использоваться для подготовки тонких металлических пленок.

Прибор используется в области электроники, оптики, подготовки специальной керамики и т. д. Он также может использоваться для подготовки лабораторных образцов SEM.

Категория:
Модель TN-MSZ194-I-DC-SS Настольная установка для нанесения покрытий с камерой из нержавеющей стали и одним целевым магнетроном постоянного тока
Образец Размеры φ100мм
Температура нагрева ≦500℃
Регулируемая скорость ≦20 об/мин
Магнитная мишень Оснащен двухдюймовой магнетронной мишенью, размер мишени: диаметр 50,8 мм, толщина ≦3 мм
Вакуумная камера Размер камеры φ194×263мм
Окно наблюдения φ50мм
Материал полости Нержавеющая сталь 304
Как открыть Открытая верхняя крышка
Вакуумная система Насос форвакуумный Малошумный двухступенчатый пластинчато-роторный насос
Молекулярный насос Турбомолекулярный насос с низким уровнем шума и высокой скоростью откачки
Измерение вакуума Компаунд-вакуумметр, диапазон: 10-5~105Па
Интерфейс вытяжки воздуха КФ16
Интерфейс вытяжки воздуха КФ40
Интерфейс выхлопной системы КФ16
Системный вакуум 1,0×10-4Па
Источник питания Переменный ток 220 В 50/60 Гц
Скорость откачки Скорость откачки молекулярного насоса 60 л/с, скорость откачки форвакуумного насоса 1,1 л/с
Конфигурация питания Количество источников питания Комплект источника питания постоянного тока
Выходная мощность Блок питания постоянного тока 500 Вт
Другие параметры Напряжение питания AC220В,50Гц
Мощность машины 2кВт
Габаритные размеры (ДxШxВ) 550x450x750мм
Вес Нетто/Брутто 80/120 Кг

Похожие товары