Лабораторная установка для нанесения покрытий
Лабораторная установка для нанесения покрытий
Лабораторная установка для нанесения покрытий

AC200 Лабораторная установка для нанесения покрытий диаметром до 20см

Наличие:

Доступно для предзаказа

Особенности

  • Лабораторная установка AC200 предназначена для нанесения и проявления фоторезиста методом центрифугирования, подходит для подложек диаметром до 200 мм или квадратных с размерами до 150х150 мм.
  • Матриал: алюминиевый корпус анодного окисления,
  • Прямой привод центрифуги
  • Дозирование вручную либо автоматически с помощью моторизированного шприца или насоса
  • Прозрачная крышка
  • Интерфейс: 4,7-дюймовый сенсорный экран на английском языке
  • С тремя алюминиевыми вакуумными патронами: наружный диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм.
  • Безмасляный вакуумный насос с низким уровнем шума.
  • Серводвигатель, большая стабильность
  • Наличие сенсорной ручки (стилуса), который позволяет работать в перчатках и минимизировать касания дисплея.
  • Прозрачная крышка дает возможность оператору контролировать процесс нанесения фоторезиста и наблюдать за ускорением.
  • Универсальные держатели позволяют работать с большим количеством образцов различной формы и размеров.
  • Дренажное отверстие позволяет осуществлять слив отработанного вещества в специальный отсек.
  • Датчик закрытия крышки и сенсор вакуума, позволяет контролировать процессом перед началом работы и включением рецепта.

Доступно для предзаказа

AC200 Лабораторная установка для нанесения покрытий диаметром до 20см предназначена для нанесения и проявления фоторезиста методом центрифугирования, подходит для подложек диаметром до 200 мм или с размерами до 150х150 мм. Установка является экономичным решением для лабораторного применения.

AC200 – настольная система проявления фоторезиста, которая имеет компактный размер и может быть установлена в различные лаборатории и другие учреждения, где требуется миниатюрные инструменты для работы с фоторезистом.

Категория:
Модель АС200 Лабораторная установка для нанесения покрытий
Размер камеры 210 мм
Размеры пластин/подложек Круглые диаметром до 200 мм,
Квадратные с размерами до 150х150 мм
Материал камеры ПНД
Вакуумный патрон Стандартный вакуумный патрон – 3 шт.
Размеры: Наруж. диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм для немедленного использования.
Возможен вакуумный патрон по размеры покупателя
Скорость вращения центрифуги 100~12000 об/мин
Ускорения вращения 0~50000 об/мин за секунду
Макс. время нанесения покрытия 3000 сек или 50 минут
Мощность серводвигателя 200 Вт
Контроль вращения Программируемое управление, 100 программ, можно восстановить из памяти
Разрешение вращения 1 об/мин
Источник питания 230В
Требуемые условия подключения Электропитание: 220 В, 1 фаза, 50 Гц;
Вакуум: -0,8 бар
Вытяжка: приблиз. 30 м3/ч
Подача азота (опционально): 4±0,2 бар;
Подача сжатого воздуха (опционально): 8±2 бар
Габаритные размеры (ДxШxВ) 433x306x306 мм
Вес Нетто/Брутто

Похожие товары