Лабораторная установка AC200 предназначена для нанесения и проявления фоторезиста методом центрифугирования, подходит для подложек диаметром до 200 мм или с размерами до 150х150 мм. Установка является экономичным решением для лабораторного применения.
AC200 – настольная система проявления фоторезиста, которая имеет компактный размер и может быть установлена в различные лаборатории и другие учреждения, где требуется миниатюрные инструменты для работы с фоторезистом.
Лабораторная установка для нанесения покрытий
AC200 Лабораторная установка для нанесения покрытий диаметром до 20см
Наличие:
Доступно для предзаказа
Особенности
- Лабораторная установка AC200 предназначена для нанесения и проявления фоторезиста методом центрифугирования, подходит для подложек диаметром до 200 мм или квадратных с размерами до 150х150 мм.
- Матриал: алюминиевый корпус анодного окисления,
- Прямой привод центрифуги
- Дозирование вручную либо автоматически с помощью моторизированного шприца или насоса
- Прозрачная крышка
- Интерфейс: 4,7-дюймовый сенсорный экран на английском языке
- С тремя алюминиевыми вакуумными патронами: наружный диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм.
- Безмасляный вакуумный насос с низким уровнем шума.
- Серводвигатель, большая стабильность
- Наличие сенсорной ручки (стилуса), который позволяет работать в перчатках и минимизировать касания дисплея.
- Прозрачная крышка дает возможность оператору контролировать процесс нанесения фоторезиста и наблюдать за ускорением.
- Универсальные держатели позволяют работать с большим количеством образцов различной формы и размеров.
- Дренажное отверстие позволяет осуществлять слив отработанного вещества в специальный отсек.
- Датчик закрытия крышки и сенсор вакуума, позволяет контролировать процессом перед началом работы и включением рецепта.
Доступно для предзаказа
Модель | АС200 Лабораторная установка для нанесения покрытий |
---|---|
Размер камеры | 210 мм |
Размеры пластин/подложек | Круглые диаметром до 200 мм, Квадратные с размерами до 150х150 мм |
Материал камеры | ПНД |
Вакуумный патрон | Стандартный вакуумный патрон – 3 шт. Размеры: Наруж. диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм для немедленного использования. Возможен вакуумный патрон по размеры покупателя |
Скорость вращения центрифуги | 100~12000 об/мин |
Ускорения вращения | 0~50000 об/мин за секунду |
Макс. время нанесения покрытия | 3000 сек или 50 минут |
Мощность серводвигателя | 200 Вт |
Контроль вращения | Программируемое управление, 100 программ, можно восстановить из памяти |
Разрешение вращения | 1 об/мин |
Источник питания | 230В |
Требуемые условия подключения | Электропитание: 220 В, 1 фаза, 50 Гц; Вакуум: -0,8 бар Вытяжка: приблиз. 30 м3/ч Подача азота (опционально): 4±0,2 бар; Подача сжатого воздуха (опционально): 8±2 бар |
Габаритные размеры (ДxШxВ) | 433x306x306 мм |
Вес Нетто/Брутто |