EZ4 Лабораторная установка для нанесения тонких пленок и фоторезиста

Наличие:

Доступно для предзаказа


Особенности

  • Максимум для покрытия пластины шириной 100 мм.
  • Материал: алюминиевый корпус анодного окисления,
  • С тремя алюминиевыми вакуумными патронами: наружный диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм.
  • ЖК-панель на английском языке
  • Безмасляный вакуумный насос с низким уровнем шума

Доступно для предзаказа

Лабораторная установка EZ4 предназначена для нанесения и проявления фоторезиста методом центрифугирования, подходит для подложек диаметром до 100 мм или с размерами до 75х75 мм. Установка является экономичным решением для лабораторного применения.
EZ4 – настольная система проявления фоторезиста, которая имеет компактный размер и может быть установлена в различные лаборатории и другие учреждения, где требуется миниатюрные инструменты для работы с фоторезистом.
Комплектация:

  • Центрифуга EZ4 – 1 шт.
  • Вакуумный насос – 1 шт.
  • Кабель питания – 1 шт.
  • Инструкция по эксплуатации — 1 шт.
  • Набор держателей – 1 комплект.
Модель EZ4 Лабораторная установка для нанесения тонких пленок и фоторезиста
Размер камеры 110 мм
Макс. образец пластины Диаметр. 4 дюйма (~ 100 мм)
Вакуумный патрон 3 шт. стандартный вакуумный патрон
Размер: наружный диаметр 8 мм, 15 мм, 55 мм для немедленного использования.
Возможен заказной вакуумный патрон
Время работы 1-3000 сек (шаг  — 1 сек)
Скорость вращения центрифуги 100-9999 об/мин (шаг — 1 об/мин).
Ускоренная скорость 100~5000 об/мин
Разрешение вращения 1 об/мин
Режим работы Кнопка — ЖК-экран
Материал камеры и верхней крышки ПММА
Контроль вращения Программируемое управление, 5 программируемых с каждыми 5 шагами, можно восстановить
Метод нанесения клея Вручную
Вакуумный патрон 3 детали (алюминиевый сплав диаметром 10 мм, 25 мм и 55 мм)
Вакуумный насос В комплект входит один безмасляный насос
Скорость откачки 50 л мин
Интерфейс прокачки 4>6 быстродействующий интерфейс
Источник питания 220 В переменного тока, 50 Гц
Габаритные размеры (ДxШxВ) 210х265х215 мм
Размеры упаковки (ДxШxВ) 420x340x295 мм
Вес Нетто/Брутто 10/15 Кг