TN-MSZ254-II-DC-SS Настольная установка для магнетронного распыления с камерой из нержавеющей стали и двумя мишенями

Наличие:

Доступно для предзаказа


Особенности:

  • Прибор для нанесения покрытия магнетроном с двойной мишенью TN-MSZ254-II-DC-SS может использоваться для подготовки тонких металлических пленок.
  • Он используется в области электроники, оптики, специальной керамики и т. д.
  • Размеры образца – φ100мм
  • Регулируемая скорость ≦20 об/мин
  • Оснащен двухдюймовой магнетронной мишенью, размер мишени: диаметр 50,8 мм, толщина ≦3 мм
  • Размеры камеры φ254×300мм

Доступно для предзаказа

Прибор для нанесения покрытия магнетроном с двойной мишенью TN-MSZ254-II-DC-SS может использоваться для подготовки тонких металлических пленок. Он используется в области электроники, оптики, специальной керамики и т. д. Он также может использоваться для подготовки лабораторных образцов SEM.
Это оборудование представляет собой двухцелевой магнетронный прибор для нанесения покрытий, который может использоваться для подготовки тонких металлических пленок. Он используется в области электроники, оптики, подготовки специальной керамики и т. д. Он также может использоваться для подготовки лабораторных образцов SEM.

В этом наборе конфигураций используется камера высокого вакуума из нержавеющей стали, а камера оснащена кварцевым смотровым окном с перегородкой для облегчения наблюдения и регистрации экспериментов.
Конструкция камеры имеет превосходные вакуумные характеристики и компактную форму, что очень подходит для лабораторное использование. В то же время оборудование оснащено вращающимся нагреваемым предметным столиком, что позволяет эффективно улучшить однородность тонкой пленки и качество ее формирования. Оборудование имеет модульную конструкцию с простой логикой работы и интуитивно понятным интерфейсом, что обеспечивает удобство использования.

Модель TN-MSZ254-II-DC-SS Настольная установка для магнетронного распыления с камерой из нержавеющей стали и двумя мишенями
Образец Размеры φ100мм
Регулируемая скорость ≦20 об/мин
Магнитная мишень Оснащен двухдюймовой магнетронной мишенью, размер мишени: диаметр 50,8 мм, толщина ≦3 мм
Вакуумная камера Размер камеры φ254×300мм
Окно наблюдения Всенаправленная прозрачность
Материал полости Нержавеющая сталь 304
Как открыть камеру Верхняя крышка и передняя дверца
Вакуумная система Насос Малошумный двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос
Молекулярный насос Турбомолекулярный насос с низким уровнем шума и высокой скоростью откачки (опционально)
Измерение вакуума Компаунд-вакуумметр, диапазон: 10-5~105Па
Интерфейс вытяжки воздуха КФ16
Интерфейс выхлопной системы КФ16
Системный вакуум 1,0×10-4Па
Источник питания Переменный ток 220 В 50/60 Гц
Скорость откачки Скорость откачки форвакуумного насоса 1,1 л/с
Конфигурация питания Количество источников питания Комплект источника питания постоянного тока
Выходная мощность Блок питания постоянного тока 500 Вт
Другие параметры Напряжение питания AC220В,50Гц
Мощность машины 2кВт
Габаритные размеры (ДxШxВ) 550х350х450 мм